Тліючий розряд подібний до розпилення, але замість іонів із плазми, які викидають матеріал із мішені, у газовій фазі ініціюється хімічна реакція шляхом створення радіочастотного тліючого розряду газу-реагенту, що призводить до осадження твердої форми. на підкладку, розміщену всередині камери.
Тліючий розряд отримав свою назву типове світлове світіння. Плазмовий газ випромінює світло, оскільки енергія та густина електронів достатньо високі, щоб генерувати збуджені атоми газу шляхом зіткнень. Ці збуджені атоми газу, які з часом релаксують до свого основного стану, випромінюють фотони.
Тліючий розряд покращує рівномірне розподіл багатьох біологічних макромолекул на гідрофобних вуглецевих плівках ТЕМ-сіток і часто виконується перед процедурами негативного фарбування.
Аномальний тліючий розряд (плазма) Тліючий розряд постійного струму, де катодна пляма покриває весь катод, а збільшення напруги збільшує щільність катодного струму. Це тип тліючого розряду, який використовується в більшості плазмових процесів.
У розрядній трубці відбувається зіткнення між зарядженими частинками (електронами), випущеними з катода, і атомами газу, які утворюють катодні промені, які при попаданні на стінки дають ефект флуоресценції. Це надає кольорове світіння трубці.
Тліючий розряд є різновид плазми, тобто частково іонізований газ, що складається з позитивних іонів і електронів і великої кількості нейтральних атомів. Він утворюється, коли комірку, що складається з анода та катода, заповнюють газом під низьким тиском (наприклад, 1 торр; 1 торр = 133,3 Па).